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光模块金线AOI设备—CF915
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光模块PCBA AOI设备—CF917
光模块成品AOI设备—CF918
光模块COB基板AOI设备—CF912
光模块COC芯片全检测AOI设备—CF913
服务支持
晶圆制造商 应用场景: CMP/OQC/ADI/AEI/CMP制程控制
掩模版制造厂 应用场景: MBB区Particle/Pinhole检测 图形检测(D2DB) ADI/AEI Particle/Pinhole检测 Blank检测 (基板/镀铬/涂胶) Maskshop/FAB Reticle图形缺陷检测
光模块制造厂 应用场景: 800G/1.6T光模块制造
封测工厂 应用场景: 硅电容/芯片晶粒 电容、磁芯、电感 引线框架
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CFW520是一款高性能,高分辨率的全自动红外穿透套刻(OVL)量测设备,它支持硅基晶圆,支持6寸/8/寸/12寸晶圆,设备配置有Load/Unload模块,自动对焦模块,自动量测软件。
CFW520
具体参数/规格
√ 波长:1050~1700nm
√ 穿透范围:0~800um
√ 物镜倍率:5X/10X/20X
√ 物镜:2.5X/5X/10X
√ 对焦模式:自动对焦
√ Load/Unload:支持