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DA芯片全检测AOI设备—CF916

应用场景 

■  TIA/PD/PIC/COC全检测


规格可检测 Defect

√ TIA/PD/PIC/COC全检测

√ 晶圆检测专用显微成像模块(2X/5X/10X)

√ 最高像素分辨率:0.34um

√ 高速高精度自动对焦模块

√ 配置有独立的复判软件和电脑

√ UPH:160

√ TIA:裂纹/破损/划伤/压伤/银胶等

√ PD:破损/脏污/划伤等

√ PIC:破损/脏污/划伤/压伤等

√ COC:裂纹/破损/划伤/压伤/脏污等